廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 高真空分子泵維修廠家
不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來(lái)完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來(lái)。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然*簡(jiǎn)單的真空機(jī)組就是一臺(tái)直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級(jí)機(jī)組，中真空一般需要二級(jí)機(jī)組。高真空分子泵維修廠家
真空是指氣體壓力小于大氣壓力的狀態(tài)。真空度用帕斯卡（Pa）或托（Torr）來(lái)表示。在某些應(yīng)用中，需要制造非常低的真空。例如，在電子學(xué)中，需要多個(gè)級(jí)別的真空來(lái)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件。真空主要通過(guò)真空泵來(lái)制造和維持。高真空分子泵維修廠家
一般真空泵設(shè)備的操作都比較簡(jiǎn)單，大多正常生產(chǎn)過(guò)程中都不需要過(guò)多的人為操作，操作人員如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常狀況，為防止發(fā)生事故，應(yīng)立即切斷電源，及時(shí)報(bào)修。使用過(guò)程中，應(yīng)避免日光直射，遠(yuǎn)離熱源體。日常工作中應(yīng)做到每日點(diǎn)檢保養(yǎng)設(shè)備，保持無(wú)灰塵、無(wú)雜物，防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。高真空分子泵維修廠家
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廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 阿爾卡特進(jìn)口泵維修
羅茨真空泵是指具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，
采用機(jī)械方法周期性地改變泵內(nèi)吸氣空腔的容積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹，從而獲得真空的泵稱(chēng)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵。改變吸氣空腔的方式有水環(huán)式、滑閥式和旋片式等，這里先敘述旋片式機(jī)械真空泵。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
轉(zhuǎn)動(dòng)泵又稱(chēng)為容積壓縮泵。它的原理是利用機(jī)械方法使一個(gè)工作室的體積周期性地?cái)U(kuò)大和縮小以達(dá)到抽氣目的。它是一種前級(jí)泵，一般在工作室容積*小時(shí)和抽氣管的入口接通,于是氣體就進(jìn)入工作室,直到工作室容積*大并重新與抽氣管隔斷的時(shí)候才停止; 以后工作室容積逐漸變小，氣體就被壓縮，直到壓強(qiáng)大于1大氣壓時(shí)排氣閥就打開(kāi)而驅(qū)出氣體。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 adixen ATP150分子泵維修
在某些中真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對(duì)羅茨泵的二級(jí)機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn)，而使用二級(jí)羅茨泵串接的三級(jí)機(jī)組可使真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級(jí)機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級(jí)中真空機(jī)組中取代兩級(jí)羅茨泵。一般地講，長(zhǎng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，adixen ATP150分子泵維修，分子增壓泵可以完全取代。而長(zhǎng)時(shí)間工作在中真空壓力范圍的羅茨泵相對(duì)而言應(yīng)該較少，因?yàn)檫@一壓力范圍前級(jí)泵往往還具有強(qiáng)勁的抽素。adixen ATP150分子泵維修
在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過(guò)程不是連續(xù)的，而是突然的。吸入氣體隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)而被封閉于腔內(nèi)，又隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，使腔內(nèi)的氣體突然與排氣口接通。由于排氣一側(cè)的氣體壓力較高，排氣口處的氣體就向腔中返沖，然后又隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而被驅(qū)趕排出泵外。這樣的過(guò)程在每旋轉(zhuǎn)一周中兩個(gè)轉(zhuǎn)子共進(jìn)行四次排氣過(guò)程。adixen ATP150分子泵維修
對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，adixen ATP150分子泵維修，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短，所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡(jiǎn)化。adixen ATP150分子泵維修
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